- Date Created
- 2024-05-29 20:00:50
- Last Updated
- 2024-05-29 20:00:50
- UUID
- 58f89db0-bef8-4dda-b0a4-45fd56988631
Title Update Infos: Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<sub>4</sub>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
- Package Update Info
- DIN-Normen
- Description
- Changes in Title 'Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure'
- Status
- Successful
- Type
- Changed Title
- Start Time
- 2024-05-29
- End Time
- 2024-05-29
- KBART Field
- publication_title
- Old Value
- Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
- New value
- Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure