Title Update Infos: Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<sub>4</sub>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure

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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<sub>4</sub>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
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Changes in Title 'Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure'
Status
Successful
Type
Changed Title
Start Time
2024-05-29
End Time
2024-05-29
KBART Field
publication_title
Old Value
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH<(Index)4>F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH4F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
Date Created
2024-05-29 20:00:50
Last Updated
2024-05-29 20:00:50
UUID
58f89db0-bef8-4dda-b0a4-45fd56988631


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