Title Update Infos: Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie

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DIN-Normen
Title
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
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Status
Successful
Type
Changed Title
Start Time
2024-05-29
End Time
2024-05-29
KBART Field
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Old Value
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
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Date Created
2024-05-29 20:00:50
Last Updated
2024-05-29 20:00:50
UUID
5fdaddf7-2fba-4a21-8bb9-048d799c5ff3


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