Title Update Infos: Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie

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DIN-Normen
Title
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie
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Changes in Title 'Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie'
Status
Successful
Type
Changed Title
Start Time
2024-05-29
End Time
2024-05-29
KBART Field
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Old Value
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie
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Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie
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Date Created
2024-05-29 20:00:50
Last Updated
2024-05-29 20:00:50
UUID
fc035ed7-0687-4ea7-958a-79f3123d44f2


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